ໂຄງສ້າງຕົ້ນຕໍຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma

ໂຄງສ້າງຕົ້ນຕໍຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ປະກອບດ້ວຍຫຼາຍອົງປະກອບ, ລວມທັງກອບ, ຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດ, ແລະຕູ້ຄວບຄຸມ. ກອບແມ່ນໂຄງສ້າງສະຫນັບສະຫນູນຕົ້ນຕໍຂອງອຸປະກອນທັງຫມົດ, ແລະຕົ້ນຕໍແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຊັ່ນ: ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມແລະສະແຕນເລດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ຫ້ອງການເຮັດຄວາມສະອາດແມ່ນຫຼັກຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma, ຕົ້ນຕໍແມ່ນຮັບຜິດຊອບໃນການສ້າງ plasma ແລະປິ່ນປົວວັດຖຸທີ່ຖືກອະນາໄມ. ຕູ້ຄວບຄຸມແມ່ນສູນການຄຸ້ມຄອງອັດສະລິຍະຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ plasma, ຮັບຜິດຊອບໃນການຄວບຄຸມແລະການຄຸ້ມຄອງການດໍາເນີນງານທັງຫມົດ.