ການແນະນໍາເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດ Plasma

Plasma, ຄ້າຍຄືຂອງແຂງ, ທາດແຫຼວ, ແລະອາຍແກັສ, ແມ່ນສະຖານະຂອງວັດຖຸ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າສະຖານະສີ່ຂອງວັດຖຸ. Plasma ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນເມື່ອມີພະລັງງານພຽງພໍກັບອາຍແກັສເພື່ອ ionize ມັນ. ອົງປະກອບ "ການເຄື່ອນໄຫວ" ຂອງ plasma ປະກອບມີ ion, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ຮາກ reactive, nuclides ຕື່ນເຕັ້ນ (ລັດ metastable), ແລະ photons. ລະບົບການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ plasma ນໍາໃຊ້ຄຸນສົມບັດຂອງອົງປະກອບທີ່ຫ້າວຫັນເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອປິ່ນປົວພື້ນຜິວຕົວຢ່າງ, ບັນລຸຈຸດປະສົງເຊັ່ນ: ການເຮັດຄວາມສະອາດ, ການດັດແປງ, ແລະ photoresist ashing.