Plasma Etcher ແມ່ນຫຍັງ?

ເຄື່ອງກວດ plasma ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ເທກໂນໂລຍີ plasma ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງຄວາມແມ່ນຍໍາ. Plasma ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ມີ-ອະນຸພາກພະລັງງານສູງທີ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງ ແລະຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງ. Plasma etchers ໃຊ້ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອ etch ຫຼື deposit micro- ແລະວັດສະດຸ nanoscale ຢ່າງແນ່ນອນ, ດັ່ງນັ້ນການສ້າງ microdevices ສະລັບສັບຊ້ອນ.